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徐申学道:“这有什么好可惜的,这种东西要的是解决有无问题,只要能够解决了,那么就问题不大!”
“而且我们的光刻机在国内是有完善专利的,顶多就是没办法出口而已!”
对于光刻机这种国之重器,在国外申请各种所谓的自主专利不太好搞,毕竟已经有ASML以及尼康,佳能在前,很多专利申请都申请不了。
但是在国内嘛……海湾科技的各项专利申请一路绿灯,因此至少在国内市场里而言,海湾科技几种光刻机,那都是有着百分之百自主专利技术的,可谈不上侵犯ASML的专利技术,顶多就是技术特征存在类似……
当然,明眼人都知道,智云的DUV浸润式光刻机,基本就是对着ASML的光刻机抄的,侵犯了大量ASML的专利。
只是这种事,大家虽然都知道,但是都很默契的不说……哪怕ASML都懒得说,因为说了也没用。
难不成,ASML还能指望国内,因为区区专利问题就给海湾科技的DUV浸润式光刻机来个禁令啊?
天堂里都做不出这么美的梦!
有这幻想,国外还不如起诉国内的军舰飞机坦克之类的侵犯国外同类装备的专利呢。
说实话,国外起诉飞机军舰坦克侵犯专利,然后获得胜诉的可能性,比起诉海湾科技DUV浸润式光刻机侵犯专利获得胜诉的可能性还大那么一点点。
当然,哪怕是有所谓的‘自主专利’,海湾科技也不会到处叫嚷……技术人员多少还是有些自尊心的。
哪怕再怎么遮掩,糊弄外人,但是自己心里都知道,这东西就是对着ASML的光刻机抄的。
此时王道林道:“不过我们这边也在持续进行技术研发,争取早日绕过这些专利限制,让我们的光刻机可以光明正大的出现在大众视野里,到时候,我们就推动我们的DUV浸润式光刻机走向海外,出口创汇去!”
徐申学笑呵呵道:“有这个信心很好。”
王道林一边和徐申学说着话的时候,前头的无尘车间里的第一台国产DUV浸润式光刻机也正在进行着试生产。
边上的丁成军也在说着这一次的试产规划:“目前我们正在试产的芯片,是集团里一种采用四十纳米工艺的逻辑芯片,这一次试产的目的主要还是看良率,效率这些性能指标,至于光刻精度的话,之前我们已经进行了大量的测试,是完全能够满足我们的四十纳米工艺的光刻机精度的!”
“并且我们的光刻机也具备了二十八纳米工艺所需要的套刻精度,不过在一些技术指标上还有所欠缺,现阶段采用二十八纳米工艺的话,会导致生产成本的比较大幅度的上涨。”
“甚至理论上,我们这台光刻机,也能勉强用于十八纳米甚至十四纳米工艺的生产,只是成本就太高了,不具备实际商业价值!”
“目前我们微电子这边的规划是,前期采购的这款HDUV-400型号,主要还是用于四十五、四十纳米乃至二十八纳米工艺的逻辑芯片,或者是部分四十纳米、三十纳米、二十五纳米工艺的储存芯片的生产!”
“这几个工艺节点上我们的订单也非常多,产能需求量大,足以给我们的400型光刻机起步订单了!”
“但前提是能够满足性能需求,不是勉强能用,而是要能大规模成熟使用,并成本可控,具备商业价值!”
此时王道林道:“精度问题以及成本控制问题,我们正在积极进行技术研发,以解决部分技术问题,这也是需要把设备拉到你们微电子这边来的原因,我们需要晶圆厂方面的大量测试和配合,然后才能够解决问题,提升良率,进行成本控制!”
丁成军道:“配合问题伱们这边不用担心,我们会积极进行各种技术配合的。”
王道林道:“给我们三个月时间,我们就能够解决这些问题,绝对是能够满足二十八纳米生产线的,丁总啊,来多几套订单啊!”
丁成军则是道:“只要你们能够解决问题,订单有的是,你们不用担心。”
王道林:“那说好了啊,这一批你保底得给我来个四十台的订单啊,不然我这边压力太大了,这光刻机研发每时每刻都在烧钱啊,没订单真顶不住!”
丁成军瞄了他一眼:“你真敢开口,一台DUV浸润式光刻机几千万美金,你一张口就要四十台订单!”
说罢,丁成军却是又道:“不过,只要你能够把技术问题解决了,我还是那句话,订单有的是,四十台也不是问题!”
“这市场足够大,容得下你们四十台的订单!”
“不过,你们这个400型号还是差了些,套刻精度不太行,只有五点五纳米,用来搞二十八纳米工艺节点还可以,但是用来搞我们的十八纳米工艺乃至十四八米工艺,就差了些了!”
“你们把套刻精度提升上来,再把双重曝光做好了,能够做十八纳米乃至十四纳米,甚至七纳米的时候,你还怕没订单?到时候我整个微电子的光刻机订单都是你的!”
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