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“……”张群芳:“有这么缺钱?”
盛明安:“缺研发资金。”
如果盛明安站在跟前,张群芳估计得对着他指指点点,他没好气?的说:“只?要是正儿?八经搞科研的,有成?果的,经费肯定会拨下来?。”
盛明安弯起眼:“谢谢教授。”
张群芳:“没什么事我挂了?。”
盛明安:“教授再见。”
通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子了?。
***
蓝河科技研发部,一尘不染的恒温实验室内,盛明安位于?主?位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。
组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统一系列步骤曝光晶片。
euv光源系统现?实工作,激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成?肉眼可观测。
仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未来?感的城市。
杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”
雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当?初预料结果一致,如无意外?,方案可行。”
身后传来?一阵激动的欢呼声,不过很快压下来?,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的主?心骨,他点头了?才算实验成?功!
但不可避免的,他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。
无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果!
无数日?夜的数据优化?、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日?夜的心血全数系在这一刻!
盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化?仿真实验结果,结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明——
“方案可行。”
第66章星晓[13]红头文件。
方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的!
不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统,包括仿真建模里?,模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用!
但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下?来的设备组装、研制才是关键。
光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。
雷客:“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师,蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”
闻言,杜颂的笑容僵住:“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板,还有精度严格的反射镜怎么办?”
这些问题一早就想到,那时盛明安让他们专心?攻克光源系统,以至于直到现?在?用到了才开始发愁。
林成建等?人不?由担忧,研发资金捉襟见肘,新材料倒是可以找华电科,就是不?知道那些新材料是否符合标准。
就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出?来。
盛明安:“陈惊璆会解决这些问题。”
科研人员只需负责研发工作就行。
“好了,忙去吧。”盛明安挥挥手,赶走身后一群人。
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